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题名/责任者:

微系统设计导论/(德)沃纳·卡尔·施默博格(Werner Karl Schomburg)著 董瑛等译

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2019

ISBN及定价:

978-7-302-51757-3/CNY68.50

载体形态项:

230页:图;26cm

并列正题名:

Introduction to microsystem design

个人责任者:

(德) 施默博格 Schomburg, Werner Karl 著

个人次要责任者:

董瑛 译

学科主题:

微电子技术-设计

中图法分类号:

TN40

中图法分类号:

TN4

版本附注:

由德国施普林格公司授权出版 据原书第2版译出

出版发行附注:

本书限中国大陆发行

提要文摘附注:

本书是以微结构设计与系统功能优化为基础,介绍微系统设计的教科书。全书共23章,包括微传感、微驱动、微流体控制、微光学等微系统的关键结构与功能元件的设计。

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