MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：3
- 题名/责任者:
- 硅加工中的表征/Yale E. Strausser[主编]
- 出版发行项:
- 哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2014
- ISBN及定价:
- 978-7-5603-4280-1/CNY88.00
- 载体形态项:
- 15,240页:图;23cm
- 丛编项:
- 材料表征原版系列丛书
- 个人责任者:
- ( ) 斯特劳瑟 (Strausser, Yale E.) 主编
- 学科主题:
- 半导体工艺-研究-英文
- 学科主题:
- 半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305
- 中图法分类号:
- TN3
- 提要文摘附注:
- 本书内容包括：材料表征技术在硅外延生长中的应用；多晶硅导体；硅化物；铝和铜基导线；级钨基导体；阻隔性薄膜等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN3/89 | 5200630563 | 总馆—新馆成人加工库 | 非可借 | 新馆成人加工库 |
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