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• 200 1_ |a 硅加工中的表征 |A gui jia gong zhong de biao zheng |d Characterization in silicon processing |f Yale E. Strausser[主编] |z eng

• 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工业大学出版社 |d 2014

• 215 __ |a 15,240页 |c 图 |d 23cm

• 225 1_ |a 材料表征原版系列丛书

• 330 __ |a 本书内容包括：材料表征技术在硅外延生长中的应用；多晶硅导体；硅化物；铝和铜基导线；级钨基导体；阻隔性薄膜等。

• 461 _0 |1 2001 |a 材料表征原版系列丛书

• 510 1_ |a Characterization in silicon processing |z eng

• 606 0_ |a 半导体工艺 |x 研究 |j 英文

• 606 0_ |a 半导体工艺

• 690 __ |a TN305 |v 5

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• 701 _0 |c ( ) |a 斯特劳瑟 |A si te lao se |c (Strausser, Yale E.) |4 主编

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• 905 __ |a JBXQLIB |d TN3/89