MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:2
- 题名/责任者:
- 微系统设计与制造/王喆垚编著
- 版本说明:
- 2版
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-302-39167-8/CNY168.00
- 载体形态项:
- 10,742页:图;26cm
- 丛编项:
- 信息、控制与系统技术丛书
- 个人责任者:
- 王喆垚 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-设计
- 学科主题:
- 微电子技术-制造
- 中图法分类号:
- TN4
- 提要文摘附注:
- 本书结合微系统(MEMS)技术的基础理论、典型器件和发展趋势,介绍微系统的力学、电学和物理学基本理论,针对典型器件的分析设计方法和制造技术,以及多个前沿应用领域,力争成为具有一定深度和广度的MEMS领域的教材和实用参考书。主要内容包括:微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS,以及微流体和芯片实验室。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
TN4/68 | 5200067135 | 总馆—产企信息服务中心 | 可借 | 产企信息服务中心 | |
TN4/68 | 5200067136 | 总馆—产企信息服务中心 | 可借 | 产企信息服务中心 |
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