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题名/责任者:

匠“芯”独运:集成电路的制造/俞少峰[等]编著

出版发行项:

上海:上海科学普及出版社,2022.10

ISBN及定价:

978-7-5427-8274-8/CNY60.00

载体形态项:

135页:图;24cm

其它题名:

集成电路的制造

丛编项:

“芯”路丛书/张卫主编

个人责任者:

俞少峰 编著

学科主题:

集成电路工艺-青少年读物

中图法分类号:

TN405-49

中图法分类号:

TN4

题名责任附注:

编著还有：丁士进、卢红亮、伍强

题名责任附注:

复旦大学组编

提要文摘附注:

本书主要介绍集成电路的制造。集成电路制造是半导体产业链中关键的一环，承上继下，起着极为重要的作用，同时也面临各种挑战。本册对集成电路制造产业链各个环节的工作内容做了简明扼要的介绍，由复旦大学微电子学院的几位教授共同编著而成，包括了芯片介绍、芯片制造工艺整合制程、光刻工艺技术、材料刻蚀技术、薄膜制备技术、化学机械抛光技术、掺杂工艺技术和封装工艺技术。

使用对象附注:

青少年

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