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题名/责任者:

微电子制造科学原理与工程技术/(美) Stephen A. Campbell著 严利人, 梁仁荣译

版本说明:

第2版

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2023.1

ISBN及定价:

978-7-121-44746-4/CNY159.00

载体形态项:

11, 595页:图;26cm

统一题名:

Fabrication engineering at the micro- and nanoscale

丛编项:

国外电子与通信教材系列

个人责任者:

坎贝尔 (Campbell, Stephen A.) 著

个人次要责任者:

严利人 译

个人次要责任者:

梁仁荣 译

学科主题:

微电子技术-生产工艺-高等学校-教材

中图法分类号:

TN4

版本附注:

2008年第1版

版本附注:

据原书第4版译出

出版发行附注:

由美国Oxford University Press授权

责任者附注:

责任者Campbell规范汉译姓: 坎贝尔

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书对微纳制造技术的各个领域都给出了一个全面透彻的介绍，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一种单项工艺，不仅介绍了它的物理和化学原理，还描述了用于集成电路制造的工艺设备。本书新增了制作纳米集成电路及其他半导体器件所需的各种基本单项工艺，还介绍了22nm的FinFET器件、氮化镓LED及薄膜太阳能电池、新型微流体器件的制造工艺流程。

使用对象附注:

可作为高等院校微电子、集成电路专业本科生和研究生相关课程的教材或参考书，也可供与集成电路制造工艺技术有关的专业技术人员学习参考

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