MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：3
- 题名/责任者:
- 半导体制造工艺/张渊主编
- 版本说明:
- 2版
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-111-50757-4/CNY49.80
- 载体形态项:
- 252页:图;26cm
- 个人责任者:
- 张渊 主编
- 学科主题:
- 半导体工艺-高等职业教育-教材
- 中图法分类号:
- TN305
- 中图法分类号:
- TN3
- 一般附注:
- “十二五”职业教育国家规划教材 高职高专“十二五”电子信息类专业规划教材 微电子技术专业
- 提要文摘附注:
- 本书简要介绍了半导体器件基本结构、半导体器件工艺的发展历史、半导体材料基本性质及半导体制造中使用的化学品,以典型的CMOS管的制造实例为基础介绍了集成电路的制造过程及制造过程中对环境的要求及污染的控制。重点介绍了包括清洗、氧化、化学气相淀积、金属化、光刻、刻蚀、掺杂、平坦化几大集成电路制造工艺的工艺原理工艺过程,工艺设备、工艺参数、质量控制及工艺模拟的相关内容。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN3/50 | 5200067278 | 总馆—产企信息服务中心 | 可借 | 产企信息服务中心 |
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