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题名/责任者:

集成电路制造设备零部件归类指南/温朝柱，史芳婷，蒋耘弈编著

出版发行项:

北京:中国海关出版社有限公司,2023.01

ISBN及定价:

978-7-5175-0624-9/CNY78.00

载体形态项:

290页:图;26cm

个人责任者:

温朝柱 编著

个人责任者:

史芳婷 编著

个人责任者:

蒋耘弈 编著

学科主题:

集成电路工艺-零部件-分类-指南

中图法分类号:

TN405-62

中图法分类号:

TN405

提要文摘附注:

本书共分为6章。第1章简要介绍了集成电路的制造工艺和集成电路制造设备零部件的归类方法；第2章介绍了集成电路制造设备的组成结构及其零部件的归类；第3章主要介绍了洁净室(厂房)及其配套系统所用的设备、零部件的组成结构及其归类；第4章介绍了与集成电路制造设备相关的设备、部件及仪表的组成结构及其归类；第5章介绍了集成电路制造所用材料的种类及其归类；第6章介绍了部分典型零部件的归类，并对其归类依据进行了详细的分析。

使用对象附注:

集成电路工艺研究人员

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