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题名/责任者:

原子层沉积制造技术及生物传感应用/刘磊著

出版发行项:

北京:化学工业出版社,2024.03

ISBN及定价:

978-7-122-45124-8 精装/CNY158.00

载体形态项:

224页:图;24cm

并列正题名:

Atomic layer deposition manufacturing technology and biosensing applications

个人责任者:

刘磊 著

学科主题:

纳米技术-应用-生物传感器-研究

中图法分类号:

Q811.4

中图法分类号:

Q81

提要文摘附注:

本书系统介绍了原子层沉积技术原理及生物传感应用，共分7章，主要内容包括原子层沉积(ALD)技术的基本原理、特点、系统和工作模式，聚焦于ALD技术的拓展，涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用，重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展，在阐明ALD技术基本原理的同时，介绍其在前沿领域的先进性和实际应用。

使用对象附注:

本书可供微纳制造与传感检测等领域的技术工作者阅读使用，也可作为高等院校相关专业师生的参考书

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