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• 005 20241026112600.0

• 010 __ |a 978-7-122-45124-8 |b 精装 |d CNY158.00

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• 200 1_ |a 原子层沉积制造技术及生物传感应用 |A yuan zi ceng chen ji zhi zao ji shu ji sheng wu chuan gan ying yong |b 专著 |d Atomic layer deposition manufacturing technology and biosensing applications |f 刘磊著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2024.03

• 215 __ |a 224页 |c 图 |d 24cm

• 330 __ |a 本书系统介绍了原子层沉积技术原理及生物传感应用，共分7章，主要内容包括原子层沉积(ALD)技术的基本原理、特点、系统和工作模式，聚焦于ALD技术的拓展，涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用，重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展，在阐明ALD技术基本原理的同时，介绍其在前沿领域的先进性和实际应用。

• 333 __ |a 本书可供微纳制造与传感检测等领域的技术工作者阅读使用，也可作为高等院校相关专业师生的参考书

• 510 1_ |a Atomic layer deposition manufacturing technology and biosensing applications |z eng

• 606 0_ |a 纳米技术 |x 应用 |x 生物传感器 |x 研究

• 690 __ |a Q811.4 |v 5

• 690 __ |a Q81 |v 4

• 701 _0 |a 刘磊 |A liu lei |4 著

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20240417

• 905 __ |a JBXQLIB |d Q81/97