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题名/责任者:

微机电器件设计、仿真及工程应用/郭占社，周富强编著

出版发行项:

北京:北京航空航天大学出版社,2021

ISBN及定价:

978-7-5124-3456-1/CNY49.00

载体形态项:

222页:图;24cm

个人责任者:

郭占社 (1973-) 编著

个人责任者:

周富强 (1973-) 编著

学科主题:

微电子技术-高等学校-教材

中图法分类号:

TN4

一般附注:

高等学校通用教材

提要文摘附注:

本书对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上，以微机电系统中常用的核心器件为对象，结合大量工程实例，采用Ansys软件，详细介绍了采用有限元仿真技术对其设计可行性进行验证的方法，包括结构的静力学仿真、模态仿真、静电仿真、热力学仿真以及疲劳仿真等。

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