MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：13
- 题名/责任者:
- 反应性气体等离子体理论及应用研究/刘相梅著
- 出版发行项:
- 哈尔滨:哈尔滨工程大学出版社,2021
- ISBN及定价:
- 978-7-5661-3167-6/CNY40.00
- 载体形态项:
- 122页:图;26cm
- 个人责任者:
- 刘相梅 著
- 学科主题:
- 放电-研究
- 中图法分类号:
- O461
- 中图法分类号:
- O46
- 提要文摘附注:
- 本书是对低温等离子体中反应性气体放电特性的研究。全书内容主要分为两篇：第一篇为低温低气压反应性气体放电，介绍了低温等离子体放电的基础知识、研究了射频SiH4放电特性和二维甚高频放电中相位差对SiH4、SiH4/H2等反应气体放电特性的影响，以及SiH4/NH3/N2等反应气体放电特性；第二篇为低温大气压反应性气体放电，介绍了低温大气压等离子体放电的基础知识、大气压乙炔微等离子体放电，以及乙炔微放电中模式转换现象。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| O46/2 | 5200602211 | 总馆—江北夜书房 | 可借 | 江北夜书房 |
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