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• 000 01160nam0 2200265 450

• 001 0000368918

• 005 20230927132300.0

• 010 __ |a 978-7-5661-3167-6 |d CNY40.00

• 049 __ |a A210100SYT |b UCS01011015647 |c 2002061022

• 100 __ |a 20220601d2021 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 230000

• 105 __ |a a z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 反应性气体等离子体理论及应用研究 |A fan ying xing qi ti deng li zi ti li lun ji ying yong yan jiu |b 专著 |f 刘相梅著

• 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工程大学出版社 |d 2021

• 215 __ |a 122页 |c 图 |d 26cm

• 330 __ |a 本书是对低温等离子体中反应性气体放电特性的研究。全书内容主要分为两篇：第一篇为低温低气压反应性气体放电，介绍了低温等离子体放电的基础知识、研究了射频SiH4放电特性和二维甚高频放电中相位差对SiH4、SiH4/H2等反应气体放电特性的影响，以及SiH4/NH3/N2等反应气体放电特性；第二篇为低温大气压反应性气体放电，介绍了低温大气压等离子体放电的基础知识、大气压乙炔微等离子体放电，以及乙炔微放电中模式转换现象。

• 606 0_ |a 放电 |x 研究

• 690 __ |a O461 |v 5

• 690 __ |a O46 |v 4

• 701 _0 |a 刘相梅 |A liu xiang mei |4 著

• 801 _2 |a CN |b OLCC |c 20230308

• 801 _0 |a CN |b SYT |c 20220601

• 905 __ |a JBXQLIB |d O46/2