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• 010 __ |a 978-7-118-12466-8 |b 精装 |d CNY98.00

• 100 __ |a 20220704d2022 em y0chiy50 ea

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• 200 1_ |a 精密纳米计量学 |A jing mi na mi ji liang xue |b 专著 |e 用于纳米制造的传感器和测量系统 |d Precision nanometrology |e sensors and measuring systems for nanomanufacturing |f (日)Wei Gao著 |g 李雷等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2022.04

• 215 __ |a 11,243页 |c 图 |d 24cm

• 225 1_ |a 军事计量科技译丛 |A Jun Shi Ji Liang Ke Ji Yi Cong

• 300 __ |a 装备科技译著出版基金

• 305 __ |a 由Springer出版社授权出版

• 330 __ |a 本书全面系统地介绍了精密纳米计量学的相关知识，重点讲述了精密纳米制造中测量角度和位移的光学传感器，提出了改善传感器灵敏度和带宽，减小传感器尺寸的技术，并开发了新的多轴传感方法；同时，详细介绍了精密纳米计量中用于表面形状和平台运动的扫描型测量系统，阐述了纳米制造中最基本的几何形状的测量误差分离算法和系统；最后对微观非球面的测量，纳米制造中微纳结构的精密纳米计量，以及长结构的微观尺寸的快速、准确测量等进行了介绍。

• 333 __ |a 纳米技术应用研究人员

• 510 1_ |a Precision nanometrology |e sensors and measuring systems for nanomanufacturing |z eng

• 517 1_ |a 用于纳米制造的传感器和测量系统 |A yong yu na mi zhi zao de chuan gan qi he ce liang xi tong

• 606 0_ |a 纳米技术 |A Na Mi Ji Shu |x 应用 |x 测量 |x 研究

• 690 __ |a P2 |v 5

• 701 _0 |c (日) |a 高伟 |A gao wei |4 著

• 702 _0 |a 李雷 |A li lei |4 译

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20220704

• 905 __ |a JBXQLIB |d P2/18