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• 005 20230824105800.0

• 010 __ |a 978-7-5427-8274-8 |d CNY60.00

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 匠“芯”独运 |A jiang “ xin ” du yun |b 专著 |e 集成电路的制造 |f 俞少峰[等]编著

• 210 __ |a 上海 |c 上海科学普及出版社 |d 2022.10

• 215 __ |a 135页 |c 图 |d 24cm

• 225 1_ |a “芯”路丛书 |A “Xin”Lu Cong Shu |f 张卫主编

• 304 __ |a 编著还有：丁士进、卢红亮、伍强

• 304 __ |a 复旦大学组编

• 330 __ |a 本书主要介绍集成电路的制造。集成电路制造是半导体产业链中关键的一环，承上继下，起着极为重要的作用，同时也面临各种挑战。本册对集成电路制造产业链各个环节的工作内容做了简明扼要的介绍，由复旦大学微电子学院的几位教授共同编著而成，包括了芯片介绍、芯片制造工艺整合制程、光刻工艺技术、材料刻蚀技术、薄膜制备技术、化学机械抛光技术、掺杂工艺技术和封装工艺技术。

• 333 __ |a 青少年

• 517 1_ |a 集成电路的制造 |A ji cheng dian lu de zhi zao

• 606 0_ |a 集成电路工艺 |A Ji Cheng Dian Lu Gong Yi |j 青少年读物

• 690 __ |a TN405-49 |v 5

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 俞少峰 |A yu shao feng |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20221031

• 905 __ |a JBXQLIB |d TN4/7