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• 010 __ |a 978-7-111-72041-6 |d CNY99.00

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• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 一本书读懂芯片制程设备 |A yi ben shu du dong xin pian zhi cheng she bei |b 专著 |f 王超[等]编著

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2023.02

• 215 __ |a 254页 |c 图 |d 24cm

• 225 1_ |a 集成电路科学与技术丛书 |A Ji Cheng Dian Lu Ke Xue Yu Ji Shu Cong Shu

• 304 __ |a 编著还有：姜晶、牛夷、王刚

• 330 __ |a 本书是围绕集成电路芯片发展和新一代信息产业技术领域(集成电路及专用设备)等重大需求，编著的集成电路芯片制程设备通识书籍。集成电路芯片作为信息时代的基石，是各国竞相角逐的“国之重器”，也是一个国家高端制造能力的综合体现。芯片制程设备作为集成电路产业链的最上游，贯穿于芯片制造全过程，是决定产业发展的最关键一环。

• 333 __ |a 制造业企业和研究机构相关人员，对集成电路芯片制程设备感兴趣的读者

• 606 0_ |a 芯片 |A Xin Pian |x 工业生产设备

• 690 __ |a TN43 |v 5

• 701 _0 |a 王超 |A wang chao |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20230322

• 905 __ |a JBXQLIB |d TN43/11