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- 010 __ |a 978-7-121-43208-8 |b 精装 |d CNY138.00
- 100 __ |a 20220510d2022 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 硅基MEMS制造技术 |A gui ji MEMS zhi zao ji shu |b 专著 |f 王跃林,吴国强等编著
- 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2022
- 215 __ |a 17,350页 |c 图,照片 |d 24cm
- 225 1_ |a 集成电路系列丛书 |i 集成电路制造
- 300 __ |a 国家出版基金项目 集成电路产业知识赋能工程
- 312 __ |a 封面英文题名:Silicon-based MEMS manufacturing technology
- 330 __ |a 本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构,进而实现硅基MEMS芯片的批量制造,介绍了硅基MEMS芯片制造技术。
- 510 1_ |a Silicon-based MEMS manufacturing technology |z eng
- 701 _0 |a 王跃林 |A wang yue lin |4 编著
- 701 _0 |a 吴国强 |A wu guo qiang |4 编著
- 801 _0 |a CN |b 山东中教 |c 20220510
- 905 __ |a JBXQLIB |d TH/29