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中文图书1.芯片制造:半导体工艺与设备 TN43/58
馆藏复本:3
可借复本:3 陈译,陈铖颖,张宏怡编著
机械工业出版社 2022
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中文图书2.芯片制造厂房建设全生命周期管理模型理论与实践 TU27/11
馆藏复本:2
可借复本:2 张岚等著
上海大学出版社 2022.12
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中文图书3.芯片制造:半导体工艺制程实用教程:a practical guide to semiconductor processing.第3 TN43/30
馆藏复本:2
可借复本:2 (美) Peter Van Zant著
电子工业出版社 2020.12
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中文图书4.芯片制造:半导体工艺制程实用教程:英文版:a practical guide to semiconductor processing.6版 TN43/5
馆藏复本:1
可借复本:1 (美)Peter Van Zant著
电子工业出版社 2021
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