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中文图书1.半导体湿法刻蚀加工技术 TN3/74
馆藏复本:2
可借复本:2 陈云, 陈新著
科学出版社 2023.9
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中文图书2.超大规模集成电路先进光刻理论与应用 TN3/54
馆藏复本:2
可借复本:2 韦亚一著
科学出版社 2016
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中文图书3.半导体先进光刻理论与技术 TN3/55
馆藏复本:2
可借复本:2 (德)安德里亚斯·爱德曼(Andreas Erdmann)著
化学工业出版社 2023
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中文图书4.半导体干法刻蚀技术 TN3/65
馆藏复本:2
可借复本:2 (日)野尻一男著
机械工业出版社 2024
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中文图书5.半导体干法刻蚀技术:原子层工艺 TN3/21
馆藏复本:3
可借复本:3 (美) 索斯藤·莱尔著
机械工业出版社 2023.9
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中文图书6.产业专利分析报告.第84册,高端光刻机 G306/2:84
馆藏复本:1
可借复本:1 国家知识产权局学术委员会组织编写
知识产权出版社有限责任公司 2022.07
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