MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：9
- 题名/责任者:
- 半导体材料/张源涛，杨树人，徐颖编著
- 版本说明:
- 4版
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-03-075191-1/CNY59.00
- 载体形态项:
- 257页:图;26cm
- 个人责任者:
- 张源涛 (1976-) 编著
- 个人责任者:
- 杨树人 (半导体) 编著
- 个人责任者:
- 徐颖 编著
- 学科主题:
- 半导体材料-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN304
- 中图法分类号:
- TN3
- 一般附注:
- 普通高等教育电子科学与技术特色专业系列教材
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了主要半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理和工艺，以及特性的控制等。共13章，包括：硅和锗的化学制备；区熔提纯；晶体生长；硅、锗晶体中的杂质和缺陷；硅外延生长等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN3/84 | 5200250350 | 总馆—产企信息服务中心 | 可借 | 产企信息服务中心 | |
| TN3/84 | 5200250351 | 总馆—产企信息服务中心 | 可借 | 产企信息服务中心 |
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