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题名/责任者:

精“芯”打造:集成电路的制造设备/杨晓峰，殳峰编著

出版发行项:

上海:上海科学普及出版社,2022.10

ISBN及定价:

978-7-5427-8275-5/CNY55.00

载体形态项:

120页:图;24cm

其它题名:

集成电路的制造设备

丛编项:

“芯”路丛书/张卫主编

个人责任者:

杨晓峰 编著

个人责任者:

殳峰 编著

学科主题:

集成电路工艺-半导体工艺设备-青少年读物

中图法分类号:

TN305-49

中图法分类号:

TN3

题名责任附注:

复旦大学组编

提要文摘附注:

本书以集成电路的发展历程为主线，结合发生的本书主要介绍集成电路制造的各种设备，以青少年熟悉的“武林高手”的形式介绍主要集成电路制造设备，如被称为集成电路制造的“四大金刚”离子注入机、光刻机、刻蚀设备和薄膜沉积设备。从这些设备在集成电路制造中的各自作用入手，图文并茂地围绕“精”这个字，体现集成电路制造设备的技术先进性、复杂度和极具挑战性的特点。

使用对象附注:

青少年

豆瓣简介：