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题名/责任者:

钼靶材及其薄膜制备技术/谢敬佩等著

出版发行项:

北京:科学出版社,2022.07

ISBN及定价:

978-7-03-070385-9/CNY118.00

载体形态项:

10,189页:图;24cm

并列正题名:

Preparation technology of molybdenum target and Its thin film

个人责任者:

谢敬佩 著

学科主题:

钼-金属薄膜-制备

中图法分类号:

TB383

题名责任附注:

著者还有：陈艳芳、赵海丽、柳培、王爱琴、王文焱等

提要文摘附注:

本书从钼粉的制备和靶材的热加工工艺入手，研究了原材料及还原工艺对钼粉性能的影响和烧结钼的热变形行为，分析了变形温度、应变速率、变形量等对其动态再结晶和静态再结晶的影响，确定了钼靶材的制备工艺，实现了钼靶材的微观组织调控。本书还研究了钼靶材的原始组织状态、单层钼薄膜的热处理、双层钼薄膜的结构调控和工艺优化，探究其对金属钼薄膜结构和光电性能的影响，从而制备出具有良好光电性能和高黏结性能的钼薄膜。

使用对象附注:

有色金属相关人员

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