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Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

金属有机化合物气相外延基础及应用/陆大成，段树坤著

出版发行项:

北京:科学出版社,2009

ISBN及定价:

978-7-03-023845-0 精装/CNY128.00

载体形态项:

361页;24cm

丛编项:

半导体科学与技术丛书

个人责任者:

陆大成 (1973-) 著

个人责任者:

段树坤 著

学科主题:

有机金属化合物-气相外延生长-研究

中图法分类号:

O627

中图法分类号:

O62

一般附注:

中国科学院科学出版基金资助出版

提要文摘附注:

本书论述了MOVPE技术的生长系统和原材料特性等实验基础、MOVPE生长热力学、化学反应动力学和输运现象等理论基础，介绍了Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料生长及其量子阱、量子点等低维结构的MOVPE生长，以及在光电器件和电子器件方面的应用。

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