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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:4

题名/责任者:
硅基MEMS制造技术/王跃林,吴国强等编著
出版发行项:
北京:电子工业出版社,2022
ISBN及定价:
978-7-121-43208-8 精装/CNY138.00
载体形态项:
17,350页:图,照片;24cm
并列正题名:
Silicon-based MEMS manufacturing technology
丛编项:
集成电路系列丛书.集成电路制造
个人责任者:
王跃林 编著
个人责任者:
吴国强 编著
学科主题:
微机电系统-研究
中图法分类号:
TH-39
中图法分类号:
TH
一般附注:
国家出版基金项目 集成电路产业知识赋能工程
相关题名附注:
封面英文题名:Silicon-based MEMS manufacturing technology
提要文摘附注:
本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构,进而实现硅基MEMS芯片的批量制造,介绍了硅基MEMS芯片制造技术。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 校区—馆藏地 书刊状态 还书位置
TH/29 5200112979   总馆—新馆综合阅览区(三楼)     可借 新馆综合阅览区(三楼)
TH/29 5200068740   总馆—产企信息服务中心     可借 产企信息服务中心
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