MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：13
- 题名/责任者:
- 一本书读懂芯片制程设备/王超[等]编著
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2023.02
- ISBN及定价:
- 978-7-111-72041-6/CNY99.00
- 载体形态项:
- 254页:图;24cm
- 丛编项:
- 集成电路科学与技术丛书
- 个人责任者:
- 王超 编著
- 学科主题:
- 芯片-工业生产设备
- 中图法分类号:
- TN43
- 题名责任附注:
- 编著还有：姜晶、牛夷、王刚
- 提要文摘附注:
- 本书是围绕集成电路芯片发展和新一代信息产业技术领域(集成电路及专用设备)等重大需求，编著的集成电路芯片制程设备通识书籍。集成电路芯片作为信息时代的基石，是各国竞相角逐的“国之重器”，也是一个国家高端制造能力的综合体现。芯片制程设备作为集成电路产业链的最上游，贯穿于芯片制造全过程，是决定产业发展的最关键一环。
- 使用对象附注:
- 制造业企业和研究机构相关人员，对集成电路芯片制程设备感兴趣的读者
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN43/11 | 5200113685 | 总馆—新馆综合阅览区（三楼） | 可借 | 新馆综合阅览区（三楼） | |
| TN43/11 | 5200013477 | 总馆—产企信息服务中心 | 可借 | 产企信息服务中心 | |
| TN43/11 | 5200067028 | 总馆—产企信息服务中心 | 可借 | 一卡通中心 | |
| TN43/11 | 5200067029 | 总馆—产企信息服务中心 | 借出-应还日期：2025-01-03 | 产企信息服务中心 | |
| TN43/11 | 5200068719 | 总馆—产企信息服务中心 | 可借 | 产企信息服务中心 |
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