MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：6
- 题名/责任者:
- 半导体的检测与分析/许振嘉主编
- 版本说明:
- 2版
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2007
- ISBN及定价:
- 978-7-03-019462-6 精装/CNY98.00
- 载体形态项:
- 635页;24cm
- 丛编项:
- 半导体科学与技术丛书
- 个人责任者:
- 许振嘉 (1929-) 主编
- 学科主题:
- 半导体材料-检测-分析
- 中图法分类号:
- TN304.07
- 中图法分类号:
- TN3
- 一般附注:
- 中国科学院科学出版基金资助出版
- 提要文摘附注:
- 本书共分7章。内容包括：引论，半导体的高分辨X射线衍射，光学监测与分析，表面、薄膜成分分析，扫描探针显微学在半导体中的运用，透射电子显微学及其在半导体中的应用和半导体深中心的表征等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN3/79 | 5200240620 | 总馆—产企信息服务中心 | 可借 | 产企信息服务中心 | |
| TN3/79 | 5200240621 | 总馆—产企信息服务中心 | 可借 | 产企信息服务中心 |
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